Tag Archives: Lithography

TNO and USHIO bouwen nieuwe onderzoeksfaciliteit voor EUV lithografie

Kikuo Hayakawa ,  NOST Tokyo (Innovatie Attaché Netwerk Tokio) Origineel gepubliceerd op de site van RVO. Op 15 februari 2016 maakte TNO bekend dat het een samenwerking aangaat met de toonaagevende Japanse lichtbronproducent USHIO. Het strategische partnerschap heeft als oogmerk … Continue reading

Posted in Hightech Systems and Materials | Tagged , , , , | Comments Off